Advanced Energy 推出適用於製程反應室清洗系統的 MAXstream 遠端電漿源產品系列

Advanced Energy 一直是製程設備電源技術的領導者，這系列全新的遠端電漿源產品在原有的基礎之上再將技術進一步提升，例如新產品可確保半導體製程設備在多種不同流速的情況下仍能保持作業穩定，而生產力也有進一步的改善 台灣 – Media OutReach – 二零二零年十二月十八日 – Advanced Energy Ind…