【News586/記者彭慧婉報導】實聯精密化學股份有限公司總經理傅豫東表示，報載實聯精密化學新產品矽乙烷(DiSilane)已交台積電進行認證乙節，實屬誤植。經查實聯精密化學高純度矽乙烷(DiSilane)已於 4 月底順利產出，目前正持續調整參數提高純度至半導體級純度需求，積極爭取 3 個月內提送國內、外半導體業者新進製程驗證，目前尚未提送台積電認證，特此說明。 實聯精密化學除原…
實聯精密化學澄清 矽乙烷(DiSilane)尚未提送台積電認證
【News586/記者彭慧婉報導】實聯精密化學股份有限公司總經理傅豫東表示，報載實聯精密化學新產品矽乙烷(DiSilane)已交台積電進行認證乙節，實屬誤植。經查實聯精密化學高純度矽乙烷(DiSilane)已於 4 月底順利產出，目前正持續調整參數提高純度至半導體級純度需求，積極爭取 3 個月內提送國內、外半導體業者新進製程驗證，目前尚未提送台積電認證，特此說明。 實聯精密化學除原…